踱膜玻璃的定義

鍍膜玻璃是在玻璃表面涂鍍一層或多層金屬，合金或金屬化合物薄膜，或?qū)⒔饘匐x子遷移到玻璃表面層，以改變玻璃的光學(xué)性能，滿足某種特定要求的一種玻璃深加工產(chǎn)品。

踱膜玻璃的主要生產(chǎn)方法

1,化學(xué)氣相沉積法

化學(xué)氣相沉積(chemical vapour deposition, CVD) 是把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物或單質(zhì)氣體，供給基板，利用氣相反應(yīng)，在基板表面上反應(yīng)沉積出所需固體薄膜的工藝技術(shù)，該技術(shù)已成為鍍膜玻璃生產(chǎn)的主要制備技術(shù)。

在線CVD法鍍膜技術(shù)，是在浮法玻璃生產(chǎn)過程中，連續(xù)沉積化合物薄膜的CVD工藝技術(shù)，是目前世界上比較先進的鍍膜玻璃生產(chǎn)技術(shù)。它是以潔凈、高速牽引(8-15m/min)、高溫(600℃)的浮法玻璃為沉積襯底。換言之，薄膜沉積前，玻璃襯底即將離開錫槽但尚未進人退火窯，且未被處理凈化。國外*早采用在線CVD法連續(xù)沉積Sn02薄膜，而我國*早是用該法生產(chǎn)硅質(zhì)鍍膜玻璃。目前，我國已基本掌握了在線CVD法鍍膜技術(shù)，能夠穩(wěn)定地生產(chǎn)硅質(zhì)鍍膜玻璃、在線Low-E玻璃和在線自潔凈玻璃。在線鍍膜玻璃生產(chǎn)線如圖1所示。

2，固體粉末噴涂法

噴涂鍍膜技術(shù)是將一種或多種反應(yīng)氣體或有機金屬鹽化合物溶液的霧化顆粒或有機金屬鹽粉末噴涂于熱玻璃表面而熱分解成膜的工藝方法。固體粉末噴涂法*初是由美國Ford汽車公司于20世紀80年代初應(yīng)用于浮法生產(chǎn)線上的一種鍍膜方法，固體粉末噴涂法的工藝流程如圖2所示

固體粉末噴涂法的鍍膜區(qū)一般設(shè)置在浮法玻璃生產(chǎn)線的過渡輾臺之后、退火窯之前的位置，也就是我們通常所說的退火窯A0區(qū)。其基本原理是將一種或多種組分的有機金屬鹽粉末，借助壓縮氣載體通過特制噴槍噴涂于熱玻璃表面，利用有機金屬鹽的高溫?zé)岱纸猓诓ＡП砻嫘纬梢粚咏饘傺趸锉∧ぃ磻?yīng)廢氣、未反應(yīng)的固體粉末以及參與反應(yīng)但并未在玻璃表面成膜的物質(zhì)經(jīng)收塵設(shè)備及時排出窯外，以保持玻璃表面和窯內(nèi)的清潔。鍍膜機組設(shè)備主要由伺服往復(fù)式自動噴涂機、送料機、振動喂料機、收塵系統(tǒng)構(gòu)成。其中，伺服往復(fù)式自動噴涂機上安裝有噴槍，噴槍是將固體粉料噴涂于熱玻璃表面而成膜的重要裝置，其噴槍結(jié)構(gòu)、重量、噴涂角度等因素對噴涂效果能夠產(chǎn)生很大影響。

3，真空蒸渡法

真空蒸發(fā)鍍膜法（簡稱真空蒸鍍法，Vacuum Evaporation) 是指在一定的真空條件下，利用高溫加熱蒸鍍材料（金屬合金或金屬氧化物）到一定溫度條件下， 使其原子或分子從表面汽化逸出，形成蒸汽流，并飛行濺射到玻璃基板表面凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法，真空蒸發(fā)鍍膜原理如圖3所示。

由于真空蒸鍛法的主要物理過程是通過加熱蒸發(fā)材料而產(chǎn)生，所以又稱熱蒸發(fā)法。蒸發(fā)源作為蒸發(fā)裝置的關(guān)鍵部件，大多數(shù)蒸發(fā)材料都要求在1000-2000℃的高溫下蒸發(fā)。真空蒸鍍法按蒸發(fā)源的不同可分為電阻法、電子束蒸發(fā)法、高頻感應(yīng)法和激光蒸發(fā)法等。目前，采用真空蒸鍍法生產(chǎn)鍍膜玻璃的均是采用間歇式生產(chǎn)， 其工藝流程如圖4所示

4，真空磁控濺射法

磁控濺射法的生產(chǎn)方式包括間歇式和連續(xù)式生產(chǎn)法，其中連續(xù)式生產(chǎn)法又可分為水平和垂直連續(xù)式生產(chǎn)兩種。其中，水平連續(xù)式生產(chǎn)法是玻璃基片在水平輸送過程中完成全部加工工藝的生產(chǎn)方式，以具有3個濺射室的雙端機。

磁控濺射鍍膜的優(yōu)點主要有：①心對靶材的面積和形狀不作要求，且可實現(xiàn)大面積鍍膜，且膜層均勻性好、膜厚可控、濺射工藝重復(fù)性好；②可用的膜材廣泛，只要能做成靶材的任何材料都可實現(xiàn)濺射，因此可制備絕大多數(shù)材料的薄膜，包括合金和化合物等；③薄膜與基片的附著力強，膜層純度高、致密；④成膜速度快，生產(chǎn)效率高。

總結(jié)：鍍膜玻璃的制備技術(shù)自20世紀70年代發(fā)展到現(xiàn)在，已經(jīng)形成了一套比較成熟和完備的技術(shù)體系。

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